怎么確定冷凝器氦檢漏設備用于鍍膜設備的靈敏度？
2024.05.22
靈敏度、反應時間、清除時間、工作真空度、級限真空度及儀器入口處抽速是評價冷凝器氦檢漏設備的主要性能指標。
①靈敏度及其校準
氦質譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的較小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的*小漏孔漏率。所謂“*佳工作條件”是指儀器參數調整到*佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“*小可檢”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內輸出儀表的波動量。
②反應時間、清除時間及其測定
反應時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號為零（或補償到零）時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的時間，記為τR。
清除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的時間，記為τC。
③工作真空、級限真空及入口處抽速
質譜室級限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的級限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。
1.冷凝器氦檢漏設備采用便攜式設計
2.設備外型美觀小巧
3.冷凝器氦檢漏設備采用液晶觸摸屏設計
4.有通訊接口
5.可以方便地將檢漏數據輸出
